عنوان اختراع: استفاده از نانولایه مسی برای رشد الماس با روش PECVD
اظهارنامه: 1396/04/15
اظهارنامه: 139650140003004301
طبقه بندی بین المللی :
ثبت: 1396/08/30
ثبت: 94185
طبقه بندی بین المللی:
مالک/مالکان: فاطمه شهسواری
وضعیت اعتبار: اعتبار دارد
مخترع/مخترعان: مریم احتشام زاده - فاطمه شهسواری
فایلهای ضمیمه (فقط با اینترنت داخلی):
خلاصه اختراع
اختراع در جهت بهرهگیری از نانولایه مس، برای رشد الماس بدون استفاده از سیدینگ اولیه الماس و در دمای و مدت زمان پایینتر از روشهای معمول باعث كاهش هزینه تولید الماس می شود. بررسی روی ضخامتهای مختلف نانو لایه مسی به منظور امكان رشد این ساختار صورت گرفت. برای ایجاد فیلم نازك مس از دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ DC مگنترون استفاده گردید. بسترهایی از جنس سیلیكون در مدت زمان های مختلف داخل دستگاه قرار گرفتند تا ضخامت های مختلف نانومتری مس روی آنها نشست نماید. سپس تمام نمونه ها داخل داستگاه PECVD روی كوره تحت شرایط یكسان قرار گرفتند. دمای بستر به 300 درجه سانتیگراد رسانیده شد و گاز متان بهعنوان گاز حامل منبع كربن (عنصر سازنده الماس) و گاز نجیب آرگون بهعنوان گاز رقیق كننده وارد محفظه شد. نتایج خواص و كیفیت نانوالماس رشد یافته در نمونه ها با روش پراش اشعه ایكس ( XRD) ، میكروسكوپ الكترونی روبشی (SEM) و طیف سنجی فوتوالكترون (XPS ) اثبات و مورد بررسی قرار گرفت.